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川崎晶圆搬运机器人| TTS系列 TTS20

产品分类: 晶圆搬运机器人

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TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分,能够实现高精度、高刚性的动作。 同时,由于采用了上下轴伸缩式的结构,因此无论是想将物品搬至高处或是低处,此设备都能做到。

TTS10

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