TTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 同时，由于采用了上下轴伸缩式的结构，因此无论是想将物品搬至高处或是低处，此设备都能做到。

TTS10