发布日期：2022-09-13 10:45 浏览次数： 254
NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎自主开发的驱动部分，能够实现高精度、高刚性的动作。 NTS10 大臂展1066 mm 机器人分类晶圆搬运机器人 安装方法地面
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